离子铣是什么意思？

再说说「离子铣」有什么含义、怎么理解？

更新于 2026-08-17 16:08:22 lí zi xǐ
答
好词易查-汉语词典大全 词语释义
拼音lí zi xǐ 字母li zi xi 首字母lzx
注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ 注音符号ㄌㄧ ㄗ ㄒㄧ

离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。

「离子铣」拆字组词

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