离子束外延是什么意思?
再说说「离子束外延」有什么含义、怎么理解?
拼音lí zi shù wài yán
字母li zi shu wai yan
首字母lzswy
注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄨㄞˋ ㄧㄢˊ
注音符号ㄌㄧ ㄗ ㄕㄨ ㄨㄞ ㄧㄢ
离子束外延是在真空环境中,用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。
再说说「离子束外延」有什么含义、怎么理解?
离子束外延是在真空环境中,用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。